中商情报网讯：半导体设备企业在工业中发挥重要作用，它们为芯片制造提供核心设备，决定芯片的制程水平与性能，进而推动电子信息产业发展，还广泛应用于自动化生产、能源、汽车等多领域。
一、中国半导体设备行业产业链环节上市公司整体情况
中国半导体设备产业链上游为零部件及系统供应环节，零部件包括轴承、传感器、石英、边缘环、射频发生器、机械臂等，核心子系统包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应、热管理系统、集成系统等；中游为各类半导体设备制造环节，主要包括光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备、真空镀膜设备、清洗设备、离子注入设备、涂胶显影设备、CMP设备、热处理设备等；下游应用于半导体制造。
资料来源：中商产业研究院整理
代表性企业有北方华创、盛美上海、中微公司等。
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