中商情报网讯：近年来，国外出台的出口新政将对中国半导体设备行业带来很大的影响，但同时也带来了前所未有的机遇，将不断促进本国半导体设备行业的发展。
一、中国半导体设备行业产业链环节上市企业整体情况
半导体设备上游为零部件及系统供应环节，中游为半导体设备制造环节。
零部件包括轴承、传感器、石英、边缘环、反应腔喷淋头、泵、陶瓷件、射频发生器、机械臂等，核心子系统包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应、热管理系统、晶圆传送系统、集成系统；各类半导体设备，主要包括光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备、真空镀膜设备、清洗设备、离子注入设备、涂胶显影设备、CMP设备、热处理设备等。
资料来源：中商产业研究院整理
代表性企业有北方华创、盛美上海、中微公司等。
资料来源：中商产业研究院整理
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