3.机械臂
（1）市场规模
中国机械臂市场规模近年来呈现出显著的增长趋势。中商产业研究院发布的《2024-2029年中国机械臂市场前景及投资发展战略研究报告》显示，2022年我国机械臂市场规模接近178.3亿元，同比增长6.26%，2023年市场规模增至186.4亿元。随着全球制造业升级和自动化需求的推动，机械臂在汽车制造、电子制造、物流仓储等领域的应用将持续扩大。中商产业研究院分析师预测，2024年中国机械臂市场规模将达193.4亿元。
数据来源：中商产业研究院整理
（2）重点企业分析
中国机械臂市场的主要参与者为本土企业、国际知名企业。新松机器人、埃斯顿自动化、大族激光等本土企业，不仅在机械臂的设计、研发和生产方面拥有强大的实力，还在市场推广和品牌建设上取得了显著成果。此外，中国机械臂市场还吸引了众多国际知名企业的参与。ABB、发那科、安川电机等是全球机械臂市场的领军企业，在中国市场也占有一席之地。这些企业凭借其深厚的技术积累和全球布局，在中国机械臂市场上展现出强大的竞争力。
资料来源：中商产业研究院整理
4.主要零部件
半导体设备的主要零部件中，国外企业占据了较大份额，这主要与国际厂商的市场主导地位以及国内企业在技术、质量和品牌等方面的不足有关。具体如图所示：
资料来源：中商产业研究院整理
5.核心子系统
半导体设备的关键子系统主要分为8大类，可分为：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统、集成系统，每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成。
资料来源：中商产业研究院整理
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