5、刻蚀机
（1）市场规模
根据Gartner数据，2020年全球刻蚀设备市场规模123.3亿美元，预计到2024年市场规模151.8亿美元，2019-2024年年均复合增长率为7%。
数据来源：Gartner、中商产业研究院整理
（2）重点企业
全球刻蚀设备行业前三名分别为泛林半导体、东京电子、应用材料，CR3超过90%。国内企业中，中微公司的介质刻蚀机全球领先，已经进入台积电最新工艺产线。
资料来源：中商产业研究院整理
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