4.靶材
(1)溅射靶材市场规模
按使用的原材料材质不同,溅射靶材可分为金属/非金属单质靶材、合金靶材、化合物靶材等。数据显示,我国溅射靶材市场规模从2017年的207亿元增至2020年的337亿元,年均复合增长率为17.6%,中商产业研究院预测,2022年我国溅射靶材市场规模将达396亿元。
数据来源:江丰电子、中商产业研究院整理
(2)溅射靶材应用市场结构
溅射靶材主要应用于超大规模集成电路芯片、液晶面板、薄膜太阳能电池制造的物理气相沉积(PVD)工艺,用于制备电子薄膜材料靶材市场最大的下游应用是包括半导体、液晶面板等在内的电子行业。其中溅射靶材在半导体领域的占比高达45%。
数据来源:中商产业研究院整理
5.刻蚀机
刻蚀机主要用来制造半导体器件、光伏电池及其他微机械等。数据显示,2020年全球刻蚀设备市场规模123.3亿美元,预计到2022年市场规模139.9亿美元,2019-2022年年均复合增长率为6.8%。
数据来源:Gartner、中商产业研究院整理