3.中微公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司的主营业务是半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司的主要产品有电容性等离子体刻蚀设备，电感性等离子体刻蚀设备，MOCVD设备，VOC设备。中微公司主营刻蚀设备、清洗设备和MOCVD设备，其刻蚀设备以干法刻蚀为主，在CCP刻蚀领域具有较大优势。
2022年第一季度实现营业收入达9.49亿元，同比增长57.38%；实现归母净利润1.17亿元，同比下降15.22%。
数据来源：中商产业研究院整理
2021年中微公司全年营收均来自半导体设备，其中占比最多的是专用设备，达80.7%。备品备件占17.9%、设备维护占1.4%。
数据来源：中商产业研究院整理
4.华峰测控
北京华峰测控技术股份有限公司主营业务为半导体自动化测试系统的研发，生产和销售。公司的主要产品为半导体自动化测试系统及测试系统配件，主要功能是检测晶圆样品和芯片封装样品的功能和性能。
2022年第一季度实现营业收入2.59亿元，同比增长123.28%；实现归母净利润1.22亿元，同比增长351.85%。
数据来源：中商产业研究院整理
2021年华峰测控半导体设备营收达8.77亿元，占整体的99.9%。
数据来源：中商产业研究院整理
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