8.高品质大尺寸碳化硅(SiC)单晶衬底材料
【技术领域】新一代信息技术
【技术开发单位】山东天岳先进材料科技有限公司
【技术概述】在碳化硅单晶生长领域,技术开发单位采用物理气相传输法(PVT)生长碳化硅(SiC)单晶,利用设计平台计算机仿真软件进行温场设计,并通过实际单晶生长进行验证优化;建立低缺陷密度、低杂质控制生长模型,不断改进晶体生长的工艺参数,批量稳定生长出极低缺陷密度的高品质碳化硅(SiC)单晶。同时,技术开发单位采用多线切割技术对碳化硅(SiC)单晶进行切片,使用优化德尔物理研磨技术进行研磨,使用独特的化学机械抛光液清洗液对晶片进行精密抛光,批量稳定生产高质量碳化硅(SiC)单晶衬底。
【技术指标】
衬底性能 | 4英寸N型 4H-SiC单晶衬底 | 6英寸N型 4H-SiC单晶衬底 | 4英寸高纯半绝缘 4H-SiC单晶衬底 | 6英寸高纯半绝缘 4H-SiC单晶衬底 |
直径 | 100.0 mm+0.0/-0.5 mm | 150.0 mm±0.20 mm | 100.0 mm+0.0/-0.5 mm | 150.0 mm±0.20 mm |
主参考面长度 | 32.5 mm ± 2.0 mm | 47.5 mm ±1.5 mm | 32.5 mm ± 2.0 mm | 47.5 mm ±1.5 mm |
副参考面长度 | 18.0 mm ± 2.0 mm | 无 | 18.0 mm ± 2.0 mm | 无 |
表面取向 | 正晶向:{0001}±0.2°; 偏晶向:4°偏向<11-20> ± 0.5° | {0001}±0.2° | ||
主参考面取向 | <11-20> ± 5.0? | <11-20> ± 5.0? | ||
副参考面取向 | 顺时针与主参考面成90? ± 5.0?, Si面朝上 | 顺时针与主参考面成90? ± 5.0?, Si面朝上 | ||
微管密度 | ≤0.5 个/cm2 | ≤1 个/cm2 | ≤0.5 个/cm2 | ≤1 个/cm2 |
4H晶型 | 100% | 100% | ||
电阻率 | 0.015 Ω·cm~0.028 Ω·cm | ≥1E8 Ω·cm | ≥1E7 Ω·cm | |
厚度 | 350.0 μm ± 25.0 μm 或500.0 μm ± 25.0 μm | 350.0 μm ± 25.0 μm 或500.0 μm ± 25.0 μm | ||
总厚度变化 | ≤10 μm | ≤10 μm | ||
弯曲度(绝对值) | ≦10 μm | ≦25 μm | ≦10 μm | ≦25 μm |
翘曲度 | ≦25 μm | ≦45 μm | ≦25 μm | ≦45 μm |
表面处理 | C-面: 光学抛光, Si-面: 化学机械抛光(CMP) | C-面: 光学抛光, Si-面: 化学机械抛光(CMP) | ||
粗糙度(10μm×10μm) | CMP Si-面 Ra≤ 0.1 nm | CMP Si-面 Ra≤ 0.1 nm | ||
裂纹 | 不允许 | 不允许 | ||
崩边/缺口 | 不允许 | 不允许 |
【技术特点】
采用自主研制的碳化硅单晶生长炉,攻克了单晶生长、缺陷控制、衬底加工等一系列核心关键技术,批量稳定生产高品质碳化硅半导体单晶衬底材料,产品性能达到国际先进、国内领先水平。
【先进程度】国际先进,国内领先。
【技术状态】批量生产、成熟应用阶段。
【适用范围】广泛应用于5G通讯、航空航天、轨道交通、新能源汽车、充电桩、电源服务器、变频家电以及太阳能逆变器等领域,实现电力电子系统的高效率、小型化和轻量化。
【专利状态】授权发明专利25项,实用新型专利161项。
【合作方式】合作开发技术服务。
【预期收益】据统计,以碳化硅为基础材料的半导体行业的全球市场规模预计2020年将增加到800亿美元。预计2020年国内碳化硅电力电子器件市场将达到100亿元。(这个是写整个产业,还是写什么,是不是还得突出对JG的支撑)
【联系方式】辛鹏波0531-86266780-1520/18678835777
9.主动式太赫兹人体安检仪
【技术领域】应急救援与公共安全
【技术开发单位】中国航天科技集团公司航天长征火箭技术有限公司
【技术概述】近年来,国际局势动荡,国内外恐怖主义事件频发,机场、火车站、地铁、重要会议、路卡、特殊场地等对人体安检需求迫切。
常见的人体安检手段主要包括:手检、金属探测器、金属探测门、爆炸物痕量检测设备。常规的手检费时费力,因疲劳等人为因素导致的漏检事件常有发生;常规的手持金属探测器和金属探测门仅能判别人体是否携带金属物件,虚警率极高且无法检测出人体携带的非金属物品;爆炸物痕量检测设备则无法检测出诸如刀具等违禁物品,一般用于辅助性检测。
X光机安检仪具有图像分辨率高,透视效果好的优势。但X光子能量强,照射人体后其电离辐射对人体生物组织有伤害,成都双流机场发生“弱光子安检仪”事件之后,国家已明令禁止X光机用于人体安检。
主动式太赫兹人体安检仪通过发射微弱的太赫兹波照射人体,并接收反射的回波,经处理后得到人体的三维太赫兹图像,然后采用人工智能算法,自动检测和识别人体携带的可疑物品。主动式太赫兹人体安检仪,不仅安全可靠,还能够检测出汽油、金属和非金属刀具、爆炸物、毒品等危险物和违禁物品,并通过目标检测与识别自动报警,可以满足常规安检对随身携带的冷兵器、汽油、爆炸物等检测需求,是现阶段人体安检的最佳解决方案。
【技术指标】典型图像分辨率:5mm;成像能力:3D图像;漏检率:低;使用环境:适应室内外高低温、复杂电磁环境。
【技术特点】安全可靠,发射功率远小于手机辐射功率,对人体无伤害;高分辨能力,三维自适应聚焦成像,具有毫米量级的空间分辨率;检测种类齐全,除金属器件外,还可以检测出诸如液体、炸药、粉剂等非金属携带物;保护隐私,拥有先进的隐私保护算法,仅显示人体的轮廓和携带危险物图像,绝对保护大众隐私。
【先进程度】国际先进
【技术状态】小批量生产、工程应用阶段
【适用范围】主动式太赫兹人体安检仪具有安全可靠、高分辨能力、检测种类齐全、保护隐私、通过时间短等优点,适合布置在机场、高铁、广场、地铁、海关口岸、监狱、大型会议、重要关卡等重要场所入口。
【获奖情况】2018年中国航天科技集团有限公司第一届创新创意大赛优胜奖。
【专利状态】完全自主知识产权,共申请专利13项,已授权6项。
【合作方式】合作开发,寻求投资扩大产能,预计需投入的资金1200万元,吸纳投融资的回收周期:1~3年,和预期回报率:20%。
【预期效益】主动式太赫兹人体安检仪不仅安全可靠,还能够检测出汽油、金属和非金属刀具、爆炸物、毒品等危险物和违禁物品,是现阶段人体安检的最佳解决方案。当前目标市场为反恐一线地区及中心节点城市,市场预估在数百亿元;后续目标市场是覆盖国内主要地区和城市,市场规模可达千亿元量级。
【联系方式】刘昊010-68382597/13717760582
10.艾保板---纳米孔二氧化硅气凝胶岩棉复合保温板
【技术领域】先进材料
【技术开发单位】北京泰瑞通和节能环保科技有限公司
【技术概述】该技术采用纳米二氧化硅气凝胶材料复合的新工艺,开发出艾保板系列防火保温板。系列产品是以二氧化硅气凝胶材料与超细无机纤维棉、高强纤维线、无机复合贴面材料以及无机防水封闭材料,经过特殊复合工艺加工而成的新型复合保温材料。属于A级不燃防火材料,抗拉强度高,导热系数在0.020~0.300W/(m·K)之间,材料的研制方案主要方向是满足现有工程技术规程要求,满足目前施工规范要求。艾保板材中含有大量细长纤维形成内腹丝增强结构,提高保温板的整体稳定性和使用寿命,不粉化,不会膨胀,耐久性长,与建筑同寿命。新型气凝胶复合材料的抗拉拔强度达到110KP以上,吸水率低于0.2%。该产品可以广泛应用于建筑节能领域的传统外墙薄抹灰工艺,完美的解决目前市场新国标消防设计规范所要求的A级防火材料问题。并且我公司具有该新型材料在国家大力推广的装饰保温一体板,结构装饰保温一体化建筑,装配式建筑、被动房超低能耗建筑等领域的应用技术及施工工艺,更为装配式被动房建筑提供了先进的保温节能方案和材料。同时能够消除在施工过程中保温材料对人体的危害,减少外墙保温及维护层的厚度,提高建筑物实际使用空间,使得建筑节能既安全环保,又增加实际使用面积,既保护了绿水青山又提高了实用性能。为我国能耗大户在节能保温领域发挥作用。
【技术指标】
产品性能ABB-II单位
抗压强度(10%变形)≥40kPa
拉拔强度(垂直于表面)≥80kPa
导热系数(25℃)0.020-0.030W/(m?K)
防火性能A级
憎水率≥99%
吸水性(部分浸水,24h)≤1.0kg/m2
尺寸稳定性≤1.0%
直角度≤5mm/m
平整度≤5mm/m
【技术特点】
“三大创新”:
1、特种高强纤维线网维状缝合技术。
2、表面无机复合界面材料复合工艺。
3、SiO2气凝胶保温材料在建筑保温领域独特应用技术。
确保产品具有保温性、防火性、安全性、耐久性四性合一功能。
具备以下特点:
1、A级不燃保温产品,不燃烧、不发烟、不助燃,耐高温1000℃以上
2、低导热系数,导热系数在0.017-0.037w/(m.k)之间可调,满足超低能耗被动房的设计要求。
3、高强度,高稳定性,抗拉强度大于100kp。
4、防水抗渗,吸水率达到0.2g/M2。
5、绿色环保,不会分解霉变、无辐射、无污染,克服了岩棉保温板在施工中对人体的危害。
【先进程度】国际先进、国内独家
【技术状态】批量生产、成熟应用阶段
【适用范围】可以广泛应用于建筑节能领域的传统外墙薄抹灰工艺,完美的解决目前新国标GB50016消防设计规范所要求的A级防火材料问题。并且满足在国家大力推广的装饰保温一体板,结构装饰保温一体化建筑,装配式建筑、超低能耗建筑被动房等领域的应用技术及施工工艺要求,更为装配式被动房建筑提供了先进的保温节能方案和材料。同时能够有效降低保温层厚度,节省墙体占比,提高建筑实际使用面积。并避免在施工过程中对人体的危害。
【专利状态】具有9项专利技术,其中授权专利5项
【合作方式】技术转让许可使用合作开发:
【预期效益】该项目所处的建筑保温材料市场是一个年需求量5000亿以上级的市场规模,如果在我国严寒地区、寒冷地区、夏热冬冷地区等设立十家加盟生产企业,每个企业按照年产50万平米计算,短期内可达到7.5亿元的生产规模,为我国建筑节能使用安全、高效、稳定的A级防火保温材料发挥突出作用与影响力。建筑墙体因此而大幅度变薄,房屋的净空间大幅增加,占地变小。而带来的成本增加,诚实的传递到最终消费者身上,消费者通过计算每年的节能率,也完全可以接受。新型气凝胶高效隔热复合材料的开发对于解决这一难题具有十分重要的社会效益和经济效益。
【联系方式】周印涛13581871967