改良西门子法生产成本持续降低。多晶硅的生产成本中，能源、原料和折旧是多晶硅生产中比例最大的三项成本，分别占到总成本的39-46%、21-19%、19-12%，影响成本的关键是能源消耗和原料消耗。近年来，基于改良西门子法的多晶硅生产能源消耗降低显著，从2009年的综合能耗40.06kgce/kg，降低到2016年的12.28kgce/kg，降幅达69.4%。原料消耗包括三氯氢硅、硅粉、四氯化硅等，最终集中体现在硅耗上，目前先进企业的指标已达到1.15kg硅/kg-Si，接近理论值，降本空间已极为有限。
由于改良西门子法降本空间已较为有限，近年来硅烷流化床法开始受到业界的广泛关注，国际上REC和SunEdison采用硅烷法生产颗粒硅已超30年，江苏中能2015年开始试运行硅烷流化床工艺。硅烷流化床法是将硅烷通入加有小颗粒硅粉的流化床(FBR)反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅。与改良西门子法相比，硅烷分解后产生的尾气主要是氢气，易于回收利用，硅烷法分解和尾气回收环节物料周转量少，投资省，且硅烷分解温度低，电耗低，便于采用流化床连续生产，其缺点在于易燃易爆具备安全隐患，制成的多晶硅纯度相对较差，成本相对更高。我们认为，随着技术的进步以及产业的逐步重视，硅烷流化床法的市场份额将会有所增加，据2016版《中国光伏产业发展路线图》预测，到2020年，硅烷流化床法占比有望达到8%。
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